について曲板融着シリカ船は、拡散、酸化、CVD堆積などの高温バッチ処理を含む半導体用途向けに設計された高精度ウェハーキャリアです。高純度の溶融シリカから製造されており、優れた熱安定性、最小限の熱膨張、そして腐食と熱衝撃に対する優れた耐性を提供します。

曲げられたプレート構造により安定したウェハー支持が提供され、炉管内の均一なガス流れと熱伝達が向上します。滑らかで清潔な表面は粒子の発生を最小限に抑え、材料の高い光学的透明性により必要に応じて目視検査が可能です。ウェハーの整合性が一貫し、汚染リスクが低いため、融合シリカベントプレートボートは、先進的な半導体製造、研究所、パイロットラインの厳しい要件を満たしています。

なぜ曲板石英船と呼ばれるのか?

「曲板クォーツボート」という名称は、その素材とデザイン形状の両方に由来します。

クォーツ:この船は高純度の石英(溶融シリカ)で作られており、半導体製造で優れた熱安定性、化学耐性、低不純物含有量で評価されています。

曲面プレート:平らなボートやチューブラーボートとは異なり、この設計は弧形に曲げられた板を特徴としています。この曲がった(曲がった)プレート構造は、高温処理中のガス流量分布とウェハ周辺の熱均一性を改善するのに役立ちます。曲率により、ウェハーをより効率的にプロセスガスにさらし、より均一な熱分布が可能になります。

ボート:半導体プロセスにおいて、「ボート」とは、炉や拡散管の処理中にウェハーを安全に保持するキャリアや治具の業界用語です。

したがって、「曲面板クォーツボート」とは文字通り、高温半導体製造における均一なウェハー加工に最適化された曲がった(曲面)プレート設計を持つ石英ベースのウェハーキャリアを指します。