名前:

6インチクォーツボートシリーズ

機能と応用:

このシリーズには、ケージボート、バッフルボート、ベースボート、標準ウェハーボートなど、拡散、酸化、CVD堆積、ウェハー洗浄などの高温半導体プロセスにおけるシリコンウェハーの支持を目的とした様々なクォーツボートが含まれます。これらの異なる形状や構造は、幅広い製造および研究分野でガスの流れ、熱均一性、ウェハー安定性を最適化します。

パフォーマンス要件:

高純度の融着石英構造で、優れた熱安定性、耐腐食性、低不純物含有量を持つ。繰り返しの熱循環に耐える堅牢な設計。粒子の発生や汚染を最小限に抑えるため、滑らかで磨かれたまたはサンドブラストされた表面を使い、自動ウェハー処理システムや各種炉との互換性を確保します。