名前:
SiCパドル
機能と応用:
炭化ケイ素(SiC)パドルは、炭化ケイ素から作られた耐熱工具です。SiCボートやSiCチューブと組み合わせて使用され(パドルがSiCボートをSiCチューブ内に押し込み反応を行います)、高い融点、化学的不活性、優れた熱安定性を活かして不純物の基板からの拡散を防ぎ、ウェハー収縮を改善し部品の耐用年数を延ばします。典型的な応用環境には高温や酸化・腐食性の大気が含まれます。
パフォーマンス要件:
高温耐性と耐腐食性。
浙江省湖州市南巡区東川西路5177号
+86-572-3032373
+86-572-3033016
SiCパドル高温半導体および先進材料加工中のSiCボートやウェハの安全な取り扱いのために設計された高性能ツールです。高純度のシリコンカーバイド製で、優れた耐熱性、化学的不活性性、機械的強度を提供し、酸化や腐食性の炉環境での信頼性を保証します。
精密な設計により、基板やボートを汚染や損傷なく安全に操作し、熱衝撃に耐え、極端な温度下でも寸法安定性を維持します。SiCパドルはプロセスの一貫性を高め、ウェハーの完全性を保護し、要求の高い高温用途において部品の使用寿命を延ばします。
産業や実験室の用途では、工具は高温、化学物質への曝露、機械的応力に耐えなければなりません。シリコンカーバイド(SiC)パドルは、その卓越した耐久性と機械的強度により理想的な解決策です。
SiCパドル極端な熱サイクルにもひび割れや変形なく耐えられ、高温化学プロセス、半導体製造、実験室実験に最適です。耐摩耗性により長期的な使用性が保証され、頻繁な交換の必要性を減らし、メンテナンスコストも削減されます。
さらに、この材料の化学的不活性性は敏感なプロセスの汚染から保護し、精密な作業で一貫した結果を保証します。強度、耐久性、化学耐性の組み合わせがSiCパドル要求の高い産業や研究用途において信頼できる選択肢です。